X射線(xiàn)熒光光譜儀(XRF)由激發(fā)源(X射線(xiàn)管)和檢測系統組成。x光管產(chǎn)生入射x光(初級x光)，激發(fā)被測樣品，產(chǎn)生x光熒光(次級x光)，探測器探測x光熒光。

一、熒光光譜儀技術(shù)原理：

　　受激樣品中的每個(gè)元素都會(huì )發(fā)出二次X射線(xiàn)，不同元素發(fā)出的二次X射線(xiàn)具有特定的能量特性或波長(cháng)特性。探測系統測量這些次級x射線(xiàn)的能量和數量。然后，儀器軟件將檢測系統采集的信息轉換成樣品中各種元素的類(lèi)型和含量。元素的原子被高能輻射激發(fā)，引起內層電子躍遷，發(fā)出一定特殊波長(cháng)的X射線(xiàn)。根據莫斯勒定律，熒光X射線(xiàn)的波長(cháng)λ與元素的原子序數Z有關(guān)，其數學(xué)關(guān)系如下:λ= k(Z ^ s)2，其中k和s為常數。根據量子理論，X射線(xiàn)可以看作是由量子或光子組成的粒子流，每束光的能量為:E=hν=h C/λ，其中E為X射線(xiàn)光子的能量，單位為keVh為普朗克常數;ν是光波的頻率;c是光速。因此，只要測量熒光X射線(xiàn)的波長(cháng)或能量，就可以知道元素的種類(lèi)，這是熒光X射線(xiàn)定性分析的基礎。另外，熒光X射線(xiàn)的強度與相應元素的含量有一定的關(guān)系，可以進(jìn)行元素的定量分析。

二、熒光光譜儀主要用途：

　　X射線(xiàn)熒光光譜儀可以根據各元素的特征X射線(xiàn)強度來(lái)測量元素含量。近年來(lái)，X射線(xiàn)熒光光譜法在各行業(yè)的應用范圍不斷擴大，已成為冶金、地質(zhì)、有色金屬、建材、商檢、環(huán)保、衛生等領(lǐng)域廣泛使用的方法，尤其是在RoHS檢測領(lǐng)域。大多數分析元素可用于分析，包括固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍從Be到u，具有分析速度快、測量范圍寬、干擾小的特點(diǎn)。

三、熒光光譜儀優(yōu)缺點(diǎn)分析：

　　優(yōu)點(diǎn)：

　　a)分析速度快。測量時(shí)間與測量精度有關(guān)，但一般很短，樣品中所有待測元素都可以在10 ~ 300秒內測量出來(lái)。

　　b)X射線(xiàn)熒光光譜與樣品的化學(xué)鍵合狀態(tài)無(wú)關(guān)，基本上與固體、粉末、液體、結晶和無(wú)定形物質(zhì)的狀態(tài)無(wú)關(guān)。(氣體密封在容器中也可以分析)，但是在高分辨率精密測量中可以看到波長(cháng)的變化。尤其是在超軟X射線(xiàn)范圍內，這種效應更為******。波長(cháng)變化用于確定化學(xué)勢。

　　c)無(wú)損分析。在測定中，不會(huì )引起化學(xué)狀態(tài)的變化，也不會(huì )引起樣品飛走。同一樣品可重復測量，重現性好。

　　D) X射線(xiàn)熒光分析是一種物理分析方法，所以化學(xué)性質(zhì)上屬于同一科的元素也可以分析。e)分析精度高。含量測定已達到ppm水平。f)樣品制備簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品均可分析。

　　缺點(diǎn)：

　　a)定量分析需要標準樣品。

　　b)對光元素的敏感度較低。

　　c)易受元素相互干擾和重疊峰的影響。

　　分類(lèi)編輯X射線(xiàn)熒光光譜儀有兩種基本類(lèi)型:波長(cháng)色散型(WD-XRF)和能量色散型(ED-XRF)。波長(cháng)色散型基于X熒光的波粒二象性的波長(cháng)特性，能量色散型基于能量特性。